MFC系列流量控制器

产品时间：2022-04-26 14:42:48

简要描述：

质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量和控制质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度和压力的变化影响。质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和控制电路等部件组成，结构如上图所示。气体通过质量流量控制器（简称MFC）时，大部分气体通过层流元件，成比例的部分气体通过流量传感

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详细介绍

质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量和控制

质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度和压力的变化影响。

质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和控制电路等部件组成，结构如上图所示。气体通过质量流量控制器（简称MFC）时，大部分气体通过层流元件，成比例的部分气体通过流量传感器。基于雷诺输送定理，采用恒温差方案的热式传感器将流量信号转化为电信号，以此为基准测量当前通过MFC的气体流量大小。微控制器比较设定信号与实际流量的差值，并驱动电陶瓷，实际动态的调整当前流量大小，已达到理想的设定值。质量流量控制器的流量控制范围2-100%F.S.